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• 采用ULVAC原产的高效率多电压电机
用一台电机即可对应200~240V/380~460V的大范围电压。
• 采用强制给油方式
即使在大气压附近排气速度也很安定。最适用于大气压⇔真空反复连续运转。
• 蒸发设备、溅射设备、离子镀设备
• 分析仪器、检漏设备
• 气体置换、液体注入