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• 研究开发用中电流离子注入设备IMX-3500
  

  中电流离子注入装置IMX-3500为最大能量200keV、对应最大晶圆尺寸8 inch的离子注入装置，适用于大学等机构的研究开发。

  购买咨询

  若想了解更多请致电182-2185-4021

  • 产品特性 / Product characteristics

  • •       最大晶圆尺寸8 inch，搭载了可对应不定形基板的台板。

    • 离子源，除Gas Source之外，另外可以使用安全方面更容易处理的B、P、As离子等固体蒸发源。
    • HV Terminal的部分，与量产装置是同样的构成，可确保高信赖性。
     

     

  • 产品应用 / Product application

  •  • 研究、开发等

  • 产品参数 / Product parameters
• 产品系列

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